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SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測(cè)試的系統(tǒng)。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測(cè)試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測(cè)試。40μm 探測(cè)光斑，實(shí)現(xiàn)百微米級(jí)探測(cè)器的絕對(duì)光譜響應(yīng)度測(cè)量。超高穩(wěn)定性光源支持長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)測(cè)試，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器，鹵素?zé)簦療舻龋瑵M足不同探測(cè)器測(cè)試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。
SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀功能：
■ 光譜響應(yīng)度光源選項(xiàng)
卓立漢光根據(jù)樣品光譜相應(yīng)范圍選擇適合的光源，如EQ 光源，氙燈光源，氙燈溴鎢燈復(fù)合光源。
EQ光源
特點(diǎn)：
■ 光譜范圍寬：190-1700nm寬光譜范圍；特點(diǎn)：
■ 光譜范圍寬：250-1700nm寬光譜范圍；特點(diǎn)：
■ 光譜范圍：250-2500nm
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