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高精度反射鏡的玻璃材料
更新時間:2017-11-27瀏覽:4215次


高精度反射鏡的玻璃材料
在溫度劇烈變化的環(huán)境下使用面型精度較高的反射鏡時,反射鏡的面型精度有時會產(chǎn)生變化。
這是由于反射鏡的玻璃基板上產(chǎn)生溫度分布,溫度高的部分和低的部分膨脹的數(shù)量不同。因此,需要高精度反射鏡時,基板需要使用低膨脹材料。
一般經(jīng)常使用石英玻璃(熱膨脹系數(shù)5.5×10-7/℃),但是要求更高精度時,使用低膨脹玻璃或被稱為零膨脹玻璃的材料。

高精度反射鏡的玻璃材料-微晶玻璃®


是在低膨脹玻璃中混有膨脹系數(shù)為負(fù)的晶體的晶體化玻璃,在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10−7/℃。

由于晶體的散射導(dǎo)致玻璃變得模糊不清,玻璃中的光線將會被衰減。
由于比較容易加工,容易拋光,常被用于大型的反射鏡中。
微晶玻璃®是SCHOTT AG的注冊商標(biāo)。

波長 [nm]

折射率

486.1

1.5491

587.6

1.5424

656.3

1.5394

透過波長譜區(qū)域

0.4 ? 2.5µm

表面反射

4.6%(587.6nm)

密度

2.53g/cm3

 
高精度反射鏡的玻璃材料CLEARCERAM®-Z
玻璃中析出負(fù)膨脹系數(shù)微小晶體的零膨脹的晶體化玻璃。

在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10−7/℃。
由于玻璃內(nèi)部是透明的,可以通過光線。具有良好的導(dǎo)熱性質(zhì),機械性質(zhì),化學(xué)性質(zhì),可用于激光反射鏡或樣板塊規(guī)。
CLEARCERAM®是株式會社小原的注冊商標(biāo)。

折射率

1.546(587.6nm)

透過波長譜區(qū)域

0.4 ? 2.5µm

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